ЗАЩИТНИ И СВРЪХТВЪРДИ ВАКУУМНИ ПОКРИТИЯ И СЛОЕВЕ

ЕЛ изпарителни системи с плазмиране на паровия поток: а/ дъгов плазмен източник без катодно петно (SAD), б/ кух катод (HAD), в/ червен (горещ) катод (RAD